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パイロメーター CellaWafer PA 38

CellaWafer PA 38は、450 (300)~1800 °Cのウェーハ温度測定用のデジタルパイロメーターです。測定波長が非常に短波長かつ狭帯域であるため、シリコンウェーハや金属(タングステン、モリブデンなど)の測定に特に適しており、測定対象物の放射率の変化にあまり敏感に反応しません。特集:測定範囲 450 ~ 1800 °C (300

パイロメーター CellaWafer PA 38

記事の内容

CellaWafer PA 38は、450 (300)~1800 °Cのウェーハ温度測定用のデジタルパイロメーターです。測定波長が非常に短波長かつ狭帯域であるため、シリコンウェーハや金属(タングステン、モリブデンなど)の測定に特に適しており、測定対象物の放射率の変化にあまり敏感に反応しません。

特集:
  • 測定範囲 450 ~ 1800 °C (300 °C 以上で設定可能ですが、精度は低下します)
  • 測定距離を正確に調整できる焦点調整可能な交換レンズ
  • 広帯域反射防止精密レンズ
  • 短波および狭帯域スペクトル範囲
  • 金属やシリコン ウェーハの精密測定に特に適しています
  • 遠くからでも読み取り可能な LED ディスプレイ
  • 診断機能用のテスト電流出力
  • 標準機能: アナログ出力および USB/RS 485 インターフェイス


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バージョン CellaWafer PA 38 AF 10 
測定範囲 450 - 1800 °C 
焦点距離 0,3 m - ∞ 
測定エリアの形状 丸 
距離比率 60 : 1 
目標 PA 20.08 
測定原理 単色 
照準オプション レンズを通しての視準 
照準オプション レーザーパイロットライト 
照準オプション ビデオカメラ