Sitzung läuft ab

Die Sitzung endet in Sekunden.

Please choose your language:

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

รายงานการประยุกต์ใช้การวัดอุณหภูมิแบบไม่สัมผัสในการเติบโตของผลึกและการประมวลผลเวเฟอร์

รายงานการประยุกต์ใช้งาน: อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เป็นตลาดที่เติบโตอย่างรวดเร็ว มีความต้องการที่เพิ่มขึ้นในด้านประสิทธิภาพและต้นทุนการผลิตของผลิตภัณฑ์ เช่น เซลล์แสงอาทิตย์ ไมโครชิป LED และเลเซอร์ กระบวนการผลิตสำหรับผลิตภัณฑ์เหล่านี้เกี่ยวข้องกับการผลิตสารกึ่งตัวนำบริสุทธิ์ที่มีโครงสร้างผลึกซึ่งปราศจากข้อบกพร่องมากที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ ตามด้วยการประมวลผลเพิ่มเติม การประมวลผลเพิ่มเติมนี้รวมถึงการบำบัดด้วยความร้อนและการเคลือบแผ่นเวเฟอร์

อุณหภูมิของกระบวนการเป็นพารามิเตอร์ที่สำคัญอย่างยิ่งในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์. ในระหว่างการเจริญเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลของเวเฟอร์ จำเป็นต้องปฏิบัติตามช่วงอุณหภูมิที่เฉพาะเจาะจงอย่างเคร่งครัดเพื่อหลีกเลี่ยงการเกิดข้อบกพร่อง และเพื่อให้ได้ผลผลิตที่สูง. การวัดอุณหภูมิแบบเรียลไทม์จึงมีความสำคัญอย่างยิ่ง. การวัดอุณหภูมิด้วยแสงโดยใช้ไพโรมิเตอร์เป็นวิธีที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการกำหนดอุณหภูมิของกระบวนการที่แม่นยำอย่างรวดเร็วและไม่สัมผัส โดยอาศัยการแผ่รังสีอินฟราเรดจากสารกึ่งตัวนำ งานวัดที่มีความต้องการสูงและหลากหลายจำเป็นต้องใช้โซลูชันไพโรมิเตอร์ที่ออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อให้เหมาะสมที่สุด

คุณสมบัติ

  • ช่วงการวัดที่กว้างมากด้วยการประมวลผลสัญญาณแบบไฮบริดที่มีความละเอียดสัญญาณสูงอย่างสม่ำเสมอทั่วทั้งช่วงการวัด
  • เลนส์ความแม่นยำแบบแบนด์วิดท์กว้างและป้องกันการสะท้อนสำหรับความละเอียดทางแสงสูง
  • การปรับเทียบพิเศษที่อุณหภูมิของกระบวนการ
  • ความเสถียรในระยะยาวสูงมากเนื่องจากเทคโนโลยีเซ็นเซอร์ที่ปราศจากการคลาดเคลื่อนซึ่งอิงตามเทคโนโลยีแสงคงที่
ไปที่โซลูชันการประยุกต์ใช้งานโดยตรง
รายงานการใช้งาน Semiconductor industry
th
Leiterplatte Silizium-Wafer Silizium Solarmodul Pyrometer CellaTemp PKL Pyrometer CellaTemp PX