Molecular Beam Epitaxy ist ein Verfahren zur Herstellung hochreiner, epitaktischer Schichten. Zur präzisen und berührungslosen Temperaturmessung sind Pyrometer einzusetzen, die mit spezieller spektraler Empfindlichkeit auf das jeweilige Substratmaterial abgestimmt sind. Integrierte Videokameras und fokussierbare Optiken ermöglichen die Messung auch kleiner Substrate durch Viewports.