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PLD (Pulsed Laser Deposition)

Überwachung der Prozesstemperatur während des Laserstrahlverdampfens

Das Laserstrahlverdampfen, oder auch Pulsed Laser Deposition, wird zum Abscheiden dünner Schichten auf Substraten eingesetzt. Für eine gleichmäßige Schichtbildung ist eine präzise Temperaturkontrolle entscheidend. KELLER Pyrometer erfassen die Temperatur des Substrats und Substrathalters ohne Beeinflussung durch Laserstrahlung.

 

Industrial Solution Guide - Halbleiterfertigung - PLD (Pulsed Laser Deposition)

Ihre Vorteile:
  • Temperaturmessung des Targets oder Substrats beim Laserstrahlverdampfen (PLD)
  • Unempfindlich gegen Laser, und Plasmastrahlung durch integrierten Sperrfilter
  • Messung kleinster Objekte durch hochauflösende Optik möglich
  • Exakte Ausrichtung durch integrierte Videokamera oder Durchblickvisier

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