CellaCrystal PA 64は、プラズマアシストCVDプロセスによる結晶成長中の光学的温度計測のために開発されました。2色式測定法と特殊な波長により、プラズマの影響を最小限に抑えた測定が可能です。測定範囲全体で0.1K未満の一定の高い分解能と、非常に高い長期安定性と組み合わせることで、必要な高い測定精度の要件を満たしています。レンズを通しての照準、レーザーパイロットライトやビデオカメラによ