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PLD Prozesse

Füllen Sie einen Fragebogen zur Temperaturmessung im PLD Prozess aus und erhalten Sie eine kurzfristige Antwort.

Fragebogen zur Temperaturmessung im PLD Prozess

Füllen Sie bitte dieses Formular aus, damit wir für Sie das optimale Messsystem für Ihre spezifischen Anforderungen auswählen können.

Kundendaten

Firma

Abteilung

Internetadresse

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Straße

PLZ, Stadt

Land

Kontaktperson

Telefon

E-Mail

Industrie

In welcher Industriebranche soll das Pyrometer eingesetzt werden?

Anwendung

Beschreibung der Messung

Bitte laden Sie nach Möglichkeit Bilder oder Zeichnungen hoch.

Abmessungen der Messaufgabe

Welche Temperatur möchten Sie messen?

(1)

(2)

a

Abstand zwischen Pyrometer und Sichtfenster in mm

b

Abstand zwischen Rohröffnung und Öffnung der Vakuumkammer in mm

c

Abstand zwischen der Öffnung der Vakuumkammer und dem Substrat in mm

d1

Durchmesser des Sichtfensters in mm

d2

Durchmesser des Sichtrohrs in mm

ɑ

Sichtwinkel in °

(1) Substrat

Material

Temperatur in °C

von

bis

Dicke in mm

von

bis

(2) Target (Abscheidungsmaterial)

Material

Prozess der Verdampfung

wenn anderer, welcher?

Temperatur in °C

von

bis

Größe des Targets in mm

Halterung

Material

Ist es abgekühlt?

Temperatur in °C

Wärmequelle

Art der Wärmequelle?

wenn Laser, welche Wellenlänge?

wenn Plasma, welche Art der Gase?

wenn andere, welche?

Informationen zum Projekt

Wie lange dauert der Beschichtungsprozess?

Wachstumsgeschwindigkeit

Bewegt sich das Messobjekt?

Ist das Messobjekt permanent sichtbar?

Wie wird bislang die Temperatur gemessen?

wenn anders, wie?

Umgebungstemperatur des Pyrometers in °C

Material des Sichtfensters?

wenn anderes, welches?

Spezifikation des Gerätes

Art des Pyrometers

Visiereinrichtung

Signalverarbeitung

Ausgangssignal / Digitale Schnittstelle

wenn andere, welche?

Sollen die Messwerte aufgezeichnet werden?

Ist eine zentrale Datenerfassung vorhanden?

Zusätzliche Details oder Beschreibung

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Fragebogen PLD-Prozesse
de
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