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Processos PLD

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Questionário para a medição da temperatura no processo PLD

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CEP, Cidade

País

Pessoa de contato

Telefone

Correio eletrónico

Setor industrial

Em que indústria pretende utilizar o pirômetro?

Aplicação

Descrição da medição

Se possível, carregar imagens ou desenhos.

Dimensões da tarefa de medição

Que temperatura quer medir?

(1)

(2)

a

Distância entre o pirômetro e a janela de visualização em mm

b

Distância entre a abertura do tubo e a abertura da câmara de vácuo em mm

c

Distância entre a abertura da câmara de vácuo e o substrato câmara de vácuo e o substrato em mm

d1

Diâmetro da janela de visualização em mm

d2

Diâmetro do tubo de mira em mm

ɑ

Ângulo de visão em °

(1) Substrato

Material

Temperatura em °C

de

até

Espessura em mm

de

até

(2) Alvo (material de deposição)

Material

Processo de evaporação

Se for outro, qual?

Temperatura em °C

de

até

Tamanho do alvo em mm

Dispositivo de montagem

Material

Está arrefecido?

Temperatura em °C

Fonte de calor

Tipo de fonte de calor?

Se for laser, qual o comprimento de onda?

Se for plasma, que tipo de gases?

se outros, quais?

Informações sobre o projeto

Quanto tempo leva o processo de revestimento?

Taxa de crescimento

O objecto move-se?

O alvo está permanentemente visível?

Como tem sido medida a temperatura até agora?

se não, como?

Temperatura ambiente do pirómetro em °C

Material da janela de inspeção?

se for outro, qual?

Especificação do dispositivo

Tipo de pirômetro

Aviso e limiar de desligamento do monitoramento de contaminação

Processamento de sinais

Sinal de saída / interface digital

se outros, quais?

Você deseja registrar os valores medidos?

Está disponível uma aquisição central de dados?

Detalhes ou descrição adicionais

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Questionário Processos de PLD
br
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