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RTP (processamento térmico rápido)

O processamento térmico rápido de wafers requer a medição da temperatura com pirômetros ajustados ao material semicondutor e à fonte de radiação.

 

Guia de Soluções Industriais - Fabricação de semicondutores - RTP (Processamento Térmico Rápido)

As suas vantagens:
  • Gama especial de comprimentos de onda para medir o material semicondutor da bolacha
  • Ótica potente para medir baixas temperaturas

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