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Processi PLD

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Questionario per la misurazione della temperatura nel processo PLD

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Dati cliente

Società

Dipartimento

indirizzo internet

Casella postale

Strada

Codice postale e città

Paese

Contatto

Telefono

e-mail

Industria

In quale settore industriale si desidera utilizzare il pirometro?

Applicazione

Descrizione della misura

Se possibile, caricare immagini o disegni.

Dimensioni del compito di misura

Quale temperatura si vuole misurare?

(1)

(2)

a

Distanza tra Pirometro e finestra di osservazione in mm

b

Distanza tra l‘apertura del tubo e l‘apertura della camera a vuoto in mm

c

Distanza tra l‘apertura della Camera a vuoto e il substrato in mm

d1

Diametro della finestra di visualizzazione in mm

d2

Diametro del tubo di mira in mm

ɑ

Angolo di visione in °

(1) Substrate

Materiale

Temperatura in °C

da

fino a

Spessore in mm

da

fino a

(2) Obiettivo (materiale di separazione)

Materiale

Processo di evaporazione

se altro, quale?

Temperatura in °C

da

fino a

Dimensione del bersaglio in mm

Montaggio

Materiale

Si è raffreddato?

Temperatura in °C

Fonte di calore

Tipo di fonte di calore?

Se il laser, quale lunghezza d'onda?

Se si tratta di plasma, che tipo di gas?

se altri, quali?

Informazioni sul progetto

Quanto dura il processo di rivestimento?

Tasso di crescita

L'oggetto da misurare è in movimento?

L‘oggetto misurato è visibile in modo permanente?

Come è stata misurata la temperatura finora?

se diverso, come?

Temperatura ambiente del pirometro in °C

Materiale della finestra di visualizzazione?

se diverso, quale?

Specifiche del dispositivo

tipo di pirometro

Dispositivo di avvistamento

elaborazione del segnale

Segnale di uscita / interfaccia digitale

se altri, quali?

I valori misurati devono essere registrati?

È disponibile un'acquisizione centrale dei dati?

Ulteriori dettagli o descrizione

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Questionario Processi PLD
it
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