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Procédé Siemens

La température de processus du procédé Siemens de dépôt de silicium pur peut être mesurée à l'aide de pyromètres.

 

Configurateur d'applications industrielles - Croissance cristalline - Procédé Siemens

Vos avantages:
  • Un câble en fibre optique sépare l'électronique et la tête de mesure
  • Une lentille à haute résolution permet de mesurer la température des fines barres de silicium au début du processus

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